最近几年，芯片的出现频率日渐增加，即便是不怎么了解芯片知识的用户都知道华为自研自产了麒麟9000S、麒麟9010芯片，英伟达的A100、H100芯片成为市场“新宠”，而苹果的A17Pro芯片更是全球首款3nm芯片……

　　没办法，当下的时代是智能时代，智能时代是AI时代、智能驾驶时代、智能手机时代，这些时代的形成离不开芯片算力的支撑，因此芯片成为了现如今最热门的话题，其出现频率自然非常高。

　　而芯片的研制和生产离不开光刻机，特别是EUV光刻机。作为量产芯片最核心的设备，EUV光刻机可以量产7nm工艺以下的芯片，是高端芯片必不可缺的尖端设备。

　　令人遗憾的是全球只有ASML一家公司掌握了EUV光刻机技术，因此全球所有的EUV光刻机都是ASML一家生产。换言之，ASML垄断了EUV光刻机的话语权，更是垄断了EUV光刻机的定价权。

　　在这个背景下，ASML的EUV光刻机卖到了1.5亿欧元/台的天价，而最新款的High NA EUV光刻机更是卖到了惊人的3.5亿欧元/台的价格。

　　虽然ASML在EUV光刻机的定价上“狮子大开口”，但这并不影响EUV光刻机的销量，像台积电、英特尔、三星就从ASML购买了大量的EUV光刻机，其销量用供不应求来形容都不为过。

　　而内地的中芯国际更是花大价钱购买了一台EUV光刻机，但因为美方的阻扰，这台EUV光刻机并未发货。由此可见，ASML的EUV光刻机从来是不缺销量的，缺的是产能。

　　那么问题来了，为什么ASML的EUV光刻机这么受欢迎呢？主要的原因有两点。

　　第一，ASML的EUV光刻机生产的晶圆良品率较高、晶圆性能稳定、工艺制程更先进，能给芯片代工厂商带来丰厚的利润。和丰厚的利润相比，厂商花巨资购买的EUV光刻机支出可忽略不计。简单的讲，就是ASML的EUV光刻机性价比非常高，物超所值。

　　第二，为了研制出先进的EUV光刻机，ASML对蔡司、Cymer等厂商进行深度合作，投资的投资、入股的入股，可以说EUV光刻机研制过程中的供应链厂商已经成为ASML的一部分。

　　在这种情况下，其他光刻机厂商无法获得EUV光刻机研制过程的技术、零部件，这让ASML的EUV光刻机具有唯一性。正因为这种唯一性，其他厂商才无法研制出EUV光刻机，更不要工艺更先进的High NA EUV光刻机。

　　看到这里，大家似乎有这样一个认知，那就是ASML将在EUV光刻机赛道上一马当先、独孤求败了。那么真实的情况是这样的吗？最近一项EUV光刻机新技术曝光，这项技术曝光后，有外媒表示:光刻机新赛道出现了。

　　据悉，这项新技术是EUV光源技术范畴，名为“自由电子激光器”技术。这些技术也可以产生EUV光源，其工作原理是电子加速器的电子束在波荡器中发光，放大成FEL光，最终得到EUV的FEL光源。

　　和常用的“激光等离子体EUV光源”技术相比，自由电子激光器的电子束光束的功率转化率可从5%提升30%，用电成本可能只有常用技术的1/5，生产成本大幅度下降。

　　最为重要的是EUV-FEL光源可升级为BEUV-FEL光源，这种光源可产生6.6nm的波，比常见的13.5nm波比起来，这种光源可以研制出更先进工艺的芯片。

　　总而言之这项新技术出现后，EUV光刻机的研制成本将会大幅度降低，这对ASML的EUV光刻机垄断地位产生影响。也许ASML也没有料到，EUV光源技术竟然有如此大的进展，这对ASML无疑是一次警示。

　　当然了，“自由电子激光器”技术还在探索阶段，离正式应用还有不小的差距，因此ASML在EUV光刻机市场的垄断地位在长时间内很难动摇。即便如此，光刻机EUV光源有了新技术突破，这表明光刻机赛道不会一成不变了，正因为如此，有外媒才表示:光刻机EUV光源新赛道出现了。